罗茨真空泵抽气速率下降的原因分析
文章出处:罗茨妖精视屏黄色软件厂家
发布时间:2025-02-11
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故障原因:
1、泵的内部零件磨损,导致间隙增大,影响了抽气效果。
2、泵的冷却系统出现故障,导致泵体温度过高,影响了抽气效果。
3、泵的进口或出口阀门泄漏,导致气体回流,影响了抽气效果。
4、叶轮或泵腔出现积碳、氧化物或异物。
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解决办法:
1、对磨损的零件进行修复或更换,以恢复泵的正常抽气速率。
2、检查并修复冷却系统,确保其正常工作,降低泵体温度。
3、检查并修复泄漏的阀门,确保其密封性能良好。
4、清洗叶轮或泵腔,移除积碳、氧化物或异物。
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